Ост 11.029.003 80' title='Ост 11.029.003 80' />Системы установки очистки воды для микроэлектроники. Главная Системы установки очистки воды для микроэлектроники. Системы установки очистки воды для микроэлектроники. Получение ультрачистой воды деионизованной воды     На сегодняшний день микроэлектроника остается по прежнему одним из катализаторов научно технического прогресса важнейших отраслей народного хозяйства. Уровень и скорость ее развития, а также объемы производства ее основных изделий интегральных микросхем во многом определяет оборонный, экономический и культурный потенциал страны. Основными стандартами, которые регламентируют качество воды, применяемой в микроэлектронике, являются стандарты Института полупроводниковой техники и материалов Semiconductor Equipment and Materials Institute SEMI и Американского общества по испытанию материалов American Society of Testing Materials ASTM. В РФ требования к такой воде представлены в ОСТ 1. Поскольку ОСТ 1. 1. SEMI и ASTM. В стандарте ASTM D 5. Е 1 ультрачистая вода для элементов размером менее 1 мкм,тип Е 2 для элементов размером от 1 до 5 мкм,тип Е 3 для элементов размером более 5 мкм,тип Е 4 для производства электронных плат общего назначения, где возможно промежуточное хранение подготовленной воды в атмосферных емкостях. Регулирование температуры    Применяются пластинчатые теплообменники с системой автоматического поддержания температуры кондиционной воды, включающей блок управления, регулирования и контроля, датчики температуры, клапан седельный регулирующий с редукторным электродвигателем. Система обеспечивает постоянство температуры воды, условия для надлежащей работы установленного оборудования и стабильную производительность всей системы водоподготовки и, соответственно, стабильное высокое качество получаемой воды. Предварительная очистка исходной воды    Технологическая схема предварительной очистки исходной воды в зависимости от источника водоснабжения и ее состава может включать в себя следующие стадии стадию напорной аэрации или безнапорной аэрации воды стадию пропорционального дозирования окислителя биоцида и коагулянта флокулянта с помощью насосов дозаторов для разрушения ассоциатов и комплексов, а также для удаления как растворенного в воде диоксида кремния, так и коллоидных соединений кремния, железа и др. УФ стерилизации с длиной волны 2. Емкость хранения должна быть оптимально подобрана, чтобы обеспечить оборот воды по системе очистки от 1 до 5 раз в час. Вода из емкости при необходимости должна полностью сливаться. Поэтому, во избежание застойных зон, емкость должна устанавливаться вертикально, и высота емкости должна составлять 2 диаметра. Конструкция емкости должна предусматривать полный слив воды для проведения регламентных процедур по санитарной обработке, отсутствие застойных зон, душирование стенок емкости. В соответствии с требованиями СНи. П 2. 0. 4. 0. 2 8. Емкость сборных баков должна приниматься не менее 1. Число баков при круглогодичной работе надлежит принимать не менее двух, емкостью по 5. Особое внимание в системе распределения ультрачистой воды следует уделять насосной группе осуществляющей транспортировку деионизованной воды из емкостей в систему распределения. Основной задачей при проектировании системы хранения и распределения воды очищенной является обеспечение постоянного движения воды в трубопроводе, отсутствии застойных зон, которые способствуют росту микроорганизмов и образованию биопленок на поверхностях. Современные системы хранения и распределения подразумевают под собой рециркуляционную систему с однонаправленным движением потока и возможностью полного удаления воды из трубопровода. Критическими параметрами при хранении и распределении воды очищенной являются температура движение воды и ее скорость давление материалы трубопроводов и емкости для хранения. Движение воды в трубопроводе должно быть турбулентным со скоростью от 1,5 до 3 мс. При этом в точке отбора воды необходимо учитывать потери давления при трении воды о стенки трубопровода, потери в местах соединений, поворотов, подъемов распределительной петли и др. Необходимо учитывать среднесуточное, среднечасовое и пиковое потребление воды. При увеличении пиковых расходов воды рекомендуется организовывать семафорную систему разбора. Белый Орел Торрент 80 Тые. При правильном проектировании системы распределения критическим является правильный выбор оборудования для достижения необходимого давления воды. Давление деионизованной воды в системе рециркуляции должно быть в пределах 0,2 0,3 МПа, и автоматически поддерживаться за счет установки на линии возврата воды в емкость редукционного клапана, выполняющего роль регулятора давления в петле рециркуляции при увеличении разбора воды из системы, т. При монтаже оборудования используется бесшовная сварка, обеспечивающая отсутствие шероховатостей в местах соединений. Материалом трубопровода и запорно регулирующей арматуры является поливинилиденфторид PVDF или натуральный полипропилен РР n, которые обеспечивают необходимую чистоту воды. В большинстве случаев трубопроводы изготовляются в чистых производствах и герметично упаковываются на месте, обеспечивая высокую чистоту продукта. Ост 11.029.003 80' title='Ост 11.029.003 80' />В петле рециркуляции устанавливаются УФ установка, основной целью применения которой является либо обеспечение микробиологического контроля получаемого фильтрата при использовании длины волны 2. ФСД на основе смеси ионообменных смол ядерного класса. Данный этап обеспечивает получение ультрачистой воды с удельным сопротивлением более 1. МОм. Общие технические требования при производстве изделий микроэлектроники 4 степени интеграции непосредственно на месте использования деионизованной воды должны быть смонтированы  установки финишной очистки воды, предназначенные для деионизации воды с последующей стерилизацией и очисткой от микрочастиц и микроорганизмов. JPG' alt='Ост 11.029.003 80' title='Ост 11.029.003 80' />Требования к качеству воды для электронной промышленности. Деионизованная вода. В электронной промышленности используется глубоко деионизованная вода. Требования для деионизованной воды представлены в нормативах РФ ОСТ 11. Поскольку ОСТ 11.